1974年第一台以电感耦合等离子体光谱仪（ICP）作为激发光源的电感耦合等离子体光谱仪问世。1983年ICP质谱仪开始推出，并很快确立了基市场地位。每个组件都经过优化设计和最佳选择具，有杰出的分析性能而且操作简单。其便函于维护的整体设计，采用了可靠耐用的真空系统和冷却系统，灵活的进样系统，耐盐分的接口，极为高效的离子透镜和非常简易的操作。

电感耦合等离子体光谱仪环境与安全类：

   1．食具容器、包装材料的成分分析及有害物质分析。

   2．应用于食品卫生重金属含量测试和食品检测分析。

   3．水（污水、饮用水、矿泉水等）中的：有害重金属及阴离子等。

   4．玩具、儿童用品及其包装材料中的：有害重金属（锑、砷、钡、铬、镉、铅、汞等）。

   5．肥料中的重金属及微量元素：砷、汞、铅、隔、铬、锰、铁等。

   6．化妆品、洗涤剂及其包装材料中的有害成分：砷、汞、铅等。

   电感耦合等离子体光谱仪电路类型电感反馈式自激振荡电路，全自动点火，全自动化控制，所有功能实现电脑设置(点火、熄火、功率等参数设置)；实时功率控制；自动匹配调谐；光室 恒温；自动峰位校正；蠕动泵进样，泵速连续可调；针对不同样品有多种进样系统可以选择(普通进样系统、耐高盐进样系统、耐氢氟酸进样系统)；防紫外线辐 射、防高频辐射观察玻璃，使操作更安全。