电感耦合等离子体光谱仪检验过程主要分三步，即激发、分光和检测。

　　1）激发：利用激发光源使样品蒸发气化，离解或分解为原子状态或者电离成离子状态，原子及离子在光源中激发发光；

　　2）分光：利用光谱仪的光学元件将光源发射的光分解为按波长及级数分布的光谱；

　　3）检测：利用光电器元件（光电倍增管，CCD，CID等）检测光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析，zui终得出样品中各元素的百分含量。

　　电感耦合等离子体光谱仪自身价格昂贵，使用频率高，仪器故障时维修费用少则几千，多则几万，请厂家上门维修需较长的时间，影响化验分析工作。笔者经过二十多年对多台ICP的维护、维修，发现99%以上的故障是由于维保工作不到位引发的。因此，加强维护、细化维保ICP零部件工作是延长ICP工作寿命、降低仪器故障的关键。

　　电感耦合等离子体光谱仪ICP-AES法可以对固、液、气态样品直接进行分析。进样技术有液体雾化进样、气体直接进样、固体超微粒气溶胶进样。对于液体样品分析的优越性是明显的，对于固体样品的分析，所需样品前处理也很少，只需将样品加以溶解制成一定浓度的溶液即可。通过溶解制成溶液再行分析，不仅可以消除样品结构干扰和非均匀性，同时也有利于标准样品的制备。分析速度快：多道仪器可同时测定30～50个元素，单道扫描仪器10分钟内也可测定15个以上元素。而且已可实现全谱自动测定。可测定的元素之多，大概比任何类似的分析方法都要多，可以肯定目前还没有一种同时分析方法可以与之相匹敌。